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IC层次去除(Delayer)
无锡“芯火”平台提供IC层次去除(Delayer)服务,对逆向工程IC层次去除 (Delayer) 技术已经可以成功处理40nm 铜制程IC,全部金属及poly层次,IC完整呈现面积可达90%。
IC层次去除(Delayer) 方法
使用多种不同处理手法 (RIE / Chemical Etch / Polish),将晶片的多层结构 (Passivation, Metal, IMD) 选择性逐一去除,进而检视异常点或逆向工程分析。
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